Effect of N2 gas fractions on improvement of structural, optical, and electrical properties of Cu3N thin films deposited by reactive radio frequency magnetron sputtering

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标题	Effect of N2 gas fractions on improvement of structural, optical, and electrical properties of Cu3N thin films deposited by reactive radio frequency magnetron sputtering 相关领域薄膜材料科学腔磁控管溅射溅射沉积无线电频率光电子学纳米技术计算机科学电信
网址	https://doi.org/10.1016/j.jacomc.2024.100049
DOI	10.1016/j.jacomc.2024.100049 doi
其它	期刊：Journal of Alloys and Compounds Communications 作者：Shanta Majumder; Miho Ohishi; Katsuhiko Saito; Qixin Guo; Md Abdul Majed Patwary; et al 出版日期：2024-12-24
求助人	Godspeed 在 2025-11-07 16:39:56 发布自江苏，悬赏 10 积分
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