Multiscale Analysis on Gas Phase and Surface Chemistry of SiC-CVD Process from CH3SiCl3/H2

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标题	Multiscale Analysis on Gas Phase and Surface Chemistry of SiC-CVD Process from CH3SiCl3/H2
网址	https://doi.org/10.1149/05044.0075ECST
DOI	10.1149/05044.0075ECST doi
其它	期刊：ECS Transactions 作者：Yasuyuki Fukushima; Kozue Hotozuka; Yuichi Funato; Noboru Sato; Takeshi Momose; Yukihiro Shimogaki 出版日期：2013
求助人	英吉利25 在 2026-03-20 16:07:46 发布自天津，悬赏 10 积分
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