Investigation of sidewall damage induced by reactive ion etching on AlGaInP MESA for micro-LED application

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标题	Investigation of sidewall damage induced by reactive ion etching on AlGaInP MESA for micro-LED application 相关领域各向同性腐蚀分析化学（期刊）图层（电子）离子干法蚀刻
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S002223132...
DOI	10.1016/j.jlumin.2021.117937 doi
其它	期刊：Journal of Luminescence 作者：Younes Boussadi; Névine Rochat; Jean-Paul Barnes; Badhise Ben Bakir; Philippe Ferrandis; et al 出版日期：2021-01-24
求助人	小feng 在 2021-08-05 10:34:11 发布，悬赏 10 积分
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