发布文献求助
已完结
  • 文献求助详情
标题
Nanoimprint lithography methods for achieving sub-3nm overlay
相关领域
纳米压印光刻 材料科学 平版印刷术 下一代光刻 覆盖 抵抗 薄脆饼 制作 基质（水族馆） 纳米技术 极紫外光刻 计算机科学 光电子学 光刻 多重图案 电子束光刻 病理 地质学 程序设计语言 海洋学 替代医学 医学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1117/12.2601937
DOI
10.1117/12.2601937 doi
其它 期刊：Photomask Technology 2021
作者：Kenji Yamamoto; Hideyuki Wada; Yoshio Suzaki; Kazuhiro Sato; Satoshi Iino; et al
出版日期：2021
求助人
Denny 在 2021-11-09 14:19:34 发布，悬赏 10 积分
下载 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
该求助已完结，感谢关注
如需该文献，请重新发布求助，前往发布
科研通，破除各种障碍，优化资源分配，让科研信息充分流通
请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习
更新
大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
Singularity的应助被乐生采纳，获得10
1秒前
焜少完成签到，获得积分10
3秒前
3秒前
Sene发布了新的文献求助30
5秒前
NEM小高发布了新的文献求助10
6秒前
6秒前
lwl发布了新的文献求助10
9秒前
大模型的应助被科研通管家采纳，获得10
9秒前
张泽崇的应助被科研通管家采纳，获得10
9秒前
Singularity的应助被科研通管家采纳，获得20
9秒前
Jasper的应助被科研通管家采纳，获得10
9秒前
9秒前
赘婿的应助被科研通管家采纳，获得30
9秒前
隐形曼青的应助被科研通管家采纳，获得30
10秒前
柯一一的应助被科研通管家采纳，获得10
10秒前
852的应助被科研通管家采纳，获得10
10秒前
10秒前
gjww的应助被科研通管家采纳，获得10
10秒前
GY完成签到 ，获得积分10
10秒前
Jasper的应助被科研通管家采纳，获得10
10秒前
bkagyin的应助被科研通管家采纳，获得10
10秒前
10秒前
10秒前
情怀的应助被科研通管家采纳，获得10
10秒前
科目三的应助被科研通管家采纳，获得10
10秒前
11秒前
yang完成签到，获得积分10
15秒前
宗剑发布了新的文献求助10
17秒前
cctv18的应助被lwl采纳，获得10
18秒前
22秒前
乐生发布了新的文献求助10
23秒前
Nitooker发布了新的文献求助10
27秒前
GaoY的应助被YAN采纳，获得10
29秒前
小星云完成签到，获得积分10
30秒前
mb完成签到，获得积分10
31秒前
Owen的应助被请输入昵称采纳，获得10
31秒前
35秒前
36秒前
啊啊啊啊_完成签到，获得积分20
37秒前
慕青的应助被文艺柠檬采纳，获得10
37秒前
高分求助中
Teaching Social and Emotional Learning in Physical Education 1000
Essentials of thematic analysis 800
ANDA Litigation: Strategies and Tactics for Pharmaceutical Patent Litigators Second 版本 500
Exact Solutions of the Discrete Heat Conduction Equations 500
A labyrinthodont from the Lower Gondwana of Kashmir and a new edestid from the Permian of the Salt Range 500
The Commercialization of Pharmaceutical Patents in China (Asian Commercial, Financial and Economic Law and Policy series) 300
The Mechano-Electrochemical Mechanism in Lithium Metal Anodes 290
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 有机化学 工程类 生物化学 纳米技术 物理 内科学 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 电极 光电子学 量子力学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 2330106
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 2011768
关于积分的说明 5043724
捐赠科研通 1768081
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 885668
版权声明 555388
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 471528
Copyright © 2020-2024 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：826996720【点击一键加群】 如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通