Plasma enhanced atomic layer deposition of titanium nitride-molybdenum nitride solid solutions

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标题	Plasma enhanced atomic layer deposition of titanium nitride-molybdenum nitride solid solutions 相关领域锡原子层沉积材料科学氮化钛氮化物钛钼纳米晶材料溅射分析化学（期刊）薄膜 X射线光电子能谱化学工程图层（电子）冶金纳米技术化学工程类色谱法
网址	https://doi.org/10.1116/6.0000717
DOI	10.1116/6.0000717 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A 作者：Md. Istiaque Chowdhury; Mark Sowa; Alexander C. Kozen; Brandon A. Krick; Jewel Haik; et al 出版日期：2021
求助人	天衣无缝在 2021-03-25 16:45:07 发布，悬赏 10 积分
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