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标题
Experimental study of two-step growth of thin AlN film on 4H-SiC substrate by Metalorganic Chemical Vapor Deposition
相关领域
成核 材料科学 化学气相沉积 图层(电子) 基质(水族馆) 外延 金属有机气相外延 薄膜 化学工程 沉积(地质) 形态学(生物学) 结晶学 分析化学(期刊)
网址
DOI
10.5072/zenodo.38088 doi
其它 期刊:Journal of Optoelectronics and Advanced Materials
作者:Hongbo Yu; Mustafa Öztürk; Pakize Demirel; Huseyin Altug Cakmak; T. Buyuklimanli; et al
出版日期:2010-01-01
求助人
研友_LNVpvL 在 2022-09-21 17:06:18 发布自江苏,悬赏 10 积分
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