| 标题 |
 Recent progress on multiple-patterning process 相关领域
多重图案
计算机科学
过程（计算）
平版印刷术
材料科学
纳米技术
极紫外光刻
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| DOI |
10.1117/12.2046135
doi
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| 其它 |
期刊：Advances in Patterning Materials and Processes XXXI 作者：Thomas I. Wallow; Christoph K. Hohle; Hidetami Yaegashi; Kenichi Oyama; Arisa Hara; et al 出版日期：2014 |
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