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Deposition of Ti-Zr-O-N films by reactive magnetron sputtering of Zr target with Ti ribbons 钛带Zr靶反应磁控溅射沉积Ti-Zr-O-N薄膜
相关领域
材料科学
溅射
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期刊:Surface and Coatings Technology 作者:C.I. da Silva Oliveira; D. Martínez-Martínez; L.T. Cunha; S. Lanceros‐Méndez; P. Martins; et al 出版日期:2020-12-10 |
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