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 Aluminum scandium nitride thin-film bulk acoustic resonators for wide band applications 用于宽带应用的氮化铝钪薄膜体声谐振器
相关领域
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期刊：Vacuum 作者：Milena Moreira; Johan Bjurström; Ilia Katardjev; Ventsislav Yantchev 出版日期：2011-05-01 |
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