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  Review Article: Stress in thin films and coatings: Current status, challenges, and prospects 综述文章：薄膜和涂层中的应力：现状、挑战和前景
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：G. Abadias; Eric Chason; Jozef Kečkéš; Marco Sebastiani; Gregory B. Thompson; et al 出版日期：2018-03-01 |
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