Study of High-Temperature MEMS Pressure Sensor Based on SiC-AlN Structure

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标题	Study of High-Temperature MEMS Pressure Sensor Based on SiC-AlN Structure 基于SiC-AlN结构的高温MEMS压力传感器的研究相关领域材料科学电容感应压力传感器微电子机械系统陶瓷光电子学灵敏度（控制系统）电容大气温度范围电子工程声学复合材料机械工程电气工程工程类物理物理化学气象学化学电极
网址	https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/kem.562-565.471
DOI	10.4028/www.scientific.net/kem.562-565.471 doi
其它	期刊：Key engineering materials 作者：Hao Jie Lv; Tao Geng; Guo Qing Hu 出版日期：2013-07-01
求助人	翻斗花园胡图图在 2024-11-07 19:31:46 发布自安徽，悬赏 30 积分
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