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 Investigations on structural properties of carbon nitride films synthesized by reactive ionized cluster beam deposition 反应离子化团簇束沉积法合成碳氮薄膜的结构性质研究
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期刊：Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B Beam Interactions with Materials and Atoms 作者：Jun Xie; Yi Zheng; Jia Feng 出版日期：1997-02-01 |
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