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 Effect of C2H2 flow rate and a Ti/TiN/TiCN interlayer on the structure, mechanical and tribological properties of a-C:H films deposited using a hybrid PVD/PECVD process with an anode-layer ion source C2H2流量和Ti/TiN/TiCN过渡层对阳极层离子源PVD/PECVD复合沉积a-C：H薄膜结构、力学性能和摩擦学性能的影响
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期刊：Vacuum 作者：Zhijun Su; Xiaohua Jie; Wenfang Li; Liao Zhongmiao; Yingchun Li; et al 出版日期：2023-03-01 |
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