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标题
Influence of RF ICP PECVD process parameters of diamond-like carbon films on DC bias and optical emission spectra
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网址
https://doi.org/10.5277/oa130114
DOI
10.5277/oa130114 doi
其它 期刊：Optica Applicata
作者：W. Oleszkiewicz; Jarosław Markowski; R. Srnánek; Wojciech Kijaszek; J. Gryglewicz; et al
出版日期：2013-01-01
求助人
acdc 在 2025-11-14 14:06:32 发布自安徽，悬赏 10 积分
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