Low-cost energy-efficient EUV lithography for advanced semiconductor manufacturing

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标题	Low-cost energy-efficient EUV lithography for advanced semiconductor manufacturing 用于先进半导体制造的低成本节能EUV光刻相关领域极紫外光刻平版印刷术半导体材料科学半导体器件制造下一代光刻光电子学纳米技术工程物理抵抗工程类电子束光刻薄脆饼图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1038/s44287-024-00129-3
DOI	10.1038/s44287-024-00129-3 doi
其它	期刊：作者：T. Shintake; Patrick Naulleau 出版日期：2025-01-03
求助人	周末在 2025-04-30 14:51:07 发布自上海，悬赏 10 积分
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