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 An inner gate as enabler for vertical pitch scaling in macaroni channel gate-all-around 3-D NAND flash memory 通心粉沟道栅极全能三维NAND闪存中垂直间距缩放的内栅极
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期刊：Solid-State Electronics 作者：Devin Verreck; A. Arreghini; G. Van den bosch; M. Rosmeulen 出版日期：2022-10-29 |
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