Optimal selection of dielectric film in piezoelectric MEMS microphone

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标题	Optimal selection of dielectric film in piezoelectric MEMS microphone 压电MEMS传声器介质膜的优化选择相关领域材料科学电介质压电话筒材料选择计算机科学托普西斯微电子机械系统制作电子工程声学光电子学工程类声压复合材料电信医学运筹学物理病理替代医学
网址	https://doi.org/10.1007/s00542-019-04485-1
DOI	10.1007/s00542-019-04485-1 doi
其它	期刊：Microsystem Technologies 作者：Prashant Gangidi; Navneet Gupta 出版日期：2019-05-30
求助人	MJ 在 2023-12-05 16:37:45 发布自湖南，悬赏 10 积分
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