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Electrical Performance and Reliability Enhancement of a-IGZO TFTs via Post-N$_{\text{2}}$O Plasma Optimization
相关领域
符号 可靠性(半导体) 制作 无定形固体 物理 材料科学 算法 数学 算术 热力学 化学 结晶学 医学 病理 功率(物理) 替代医学
网址
DOI
10.1109/ted.2023.3278620 doi
其它 期刊:IEEE Transactions on Electron Devices
作者:Hyojung Kim; Chanhee Han; Dongbhin Kim; Byoungdeog Choi
出版日期:2023-01-01
求助人
array yield 在 2023-06-09 08:38:45 发布自湖北,悬赏 10 积分
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