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Material Removal Model of Chemical Mechanical Polishing Based on Genetic Algorithm and Neural Network Optimization 基于遗传算法和神经网络优化的化学机械抛光材料去除模型
相关领域
抛光
平坦度(宇宙学)
化学机械平面化
压扁
表面粗糙度
人工神经网络
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材料科学
机械工程
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纳米
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机器学习
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宇宙学
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期刊:2022 IEEE 2nd International Conference on Mobile Networks and Wireless Communications (ICMNWC) 作者:Chenghao Feng; Xiaopeng Lan 出版日期:2022-12-02 |
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