Effects of plasma power on ferroelectric properties of HfO2-ZrO2 nanolaminates produced by plasma enhanced atomic layer deposition

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标题	Effects of plasma power on ferroelectric properties of HfO2-ZrO2 nanolaminates produced by plasma enhanced atomic layer deposition 等离子体功率对等离子体增强原子层沉积HfO2-ZrO2纳米层压材料铁电性能的影响相关领域材料科学原子层沉积铁电性正交晶系光电子学薄膜等离子体分析化学（期刊）电介质纳米技术光学衍射色谱法量子力学物理化学
网址	https://doi.org/10.1016/j.surfin.2023.102669
DOI	10.1016/j.surfin.2023.102669 doi
其它	期刊：Surfaces and Interfaces 作者：Yeonghwan Ahn; Yerin Jeon; Seokwon Lim; Jiwoong Kim; Jisu Kim; et al 出版日期：2023-01-25
求助人	沈家宁在 2025-05-14 19:23:13 发布自福建，悬赏 10 积分
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