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  Dependence of Structural Design on Effective Young's Modulus of Ti/Au Multi-layered Micro-cantilevers Ti/Au多层微悬臂梁结构设计对有效杨氏模量的依赖性
相关领域
悬臂梁
小型化
微电子机械系统
有限元法
电容感应
灵敏度（控制系统）
材料科学
模数
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杨氏模量
加速度计
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结构工程
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物理
工程类
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| 其它 |
期刊：Micro and Nano Engineering 作者：S Watanabe; Tomoyuki Kurioka; Chun‐Yi Chen; Tso‐Fu Mark Chang; Akira Onishi; et al 出版日期：2024-03-29 |
| 求助人 |
Reni
在
2025-07-15 20:24:41 发布，悬赏 10 积分
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