Improvement of transparent conductive properties of Cu films by introducing H2 into deposition atmosphere during RF magnetron sputtering

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标题	Improvement of transparent conductive properties of Cu films by introducing H2 into deposition atmosphere during RF magnetron sputtering 相关领域材料科学结晶度溅射沉积溅射基质（水族馆）沉积（地质）薄膜大气（单位）导电体微观结构功勋腔磁控管透明导电膜透射率复合材料表面粗糙度光电子学纳米技术海洋学热力学地质学生物沉积物物理古生物学
网址	https://doi.org/10.1016/j.spmi.2020.106628
DOI	10.1016/j.spmi.2020.106628 doi
其它	期刊：Superlattices and Microstructures 作者：B.L. Zhu; Cancan Yi; Xinglei Zhao; Junjie Ma; Jun Wu; et al 出版日期：2020-06-19
求助人	Godspeed 在 2025-11-07 17:07:45 发布自江苏，悬赏 10 积分
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