Dielectric dipole mitigated Schottky barrier height tuning using atomic layer deposited aluminum oxide for contact resistance reduction

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标题	Dielectric dipole mitigated Schottky barrier height tuning using atomic layer deposited aluminum oxide for contact resistance reduction 使用原子层沉积氧化铝降低接触电阻的介电偶极子缓解肖特基势垒高度调谐相关领域肖特基势垒材料科学偶极子氮化钽硅接触电阻氧化物电介质钽氮化物图层（电子）铝氧化铝原子层沉积光电子学阻挡层凝聚态物理复合材料化学冶金有机化学物理二极管
网址	https://doi.org/10.1063/1.3633117
DOI	10.1063/1.3633117 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Brian E. Coss; Wei-Yip Loh; Herman Carlo Floresca; Moon J. Kim; Prashant Majhi; et al 出版日期：2011-09-05
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