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标题
Growth mechanism and electrical properties of tungsten films deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition with chloride and metal organic precursors
氯化物和金属有机前体等离子体增强原子层沉积法沉积W薄膜的生长机制和电性能
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网址
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2021.150939
DOI
10.1016/j.apsusc.2021.150939 doi
其它 期刊：Applied Surface Science
作者：Yujin Lee; Seunggi Seo; Taewook Nam; Hyunho Lee; Hwi Yoon; et al
出版日期：2021-08-16
求助人
js 在 2025-07-22 11:21:07 发布自福建，悬赏 10 积分
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