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标题
Wet etch clean-up of plasma damage for 1.68 kV breakdown in NiO/β-Ga2O3 chlorine-etched PN diodes
相关领域
非阻塞I/O 材料科学 二极管 等离子体 氯 光电子学 分析化学（期刊） 化学 冶金 环境化学 物理 核物理学 生物化学 催化作用
网址
https://doi.org/10.1116/6.0004289
DOI
10.1116/6.0004289 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science & technology
作者：Audrey Rose Gutierrez; Joseph Spencer; Alan G. Jacobs; Yuan Qin; Jenifer R. Hajzus; et al
出版日期：2025-05-01
求助人
Chen_Sam 在 2026-05-22 17:15:13 发布自广东，悬赏 10 积分
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  • 18天前

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  • 18天前

    Chen_Sam Chen_Sam Lv4 求助人 发起了本次求助

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