标题 |
Conventional surface micromachining process for the fabrication of an optical phase array based on piston micromirrors
相关领域
材料科学
活塞(光学)
制作
悬臂梁
微电子机械系统
体微机械加工
激光器
表面微加工
光电子学
相(物质)
光学
物理
波前
医学
量子力学
病理
复合材料
替代医学
|
网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊:Journal of Micromechanics and Microengineering 作者:Tarek Mohammad; Siyuan He; R Ben Mrad 出版日期:2021-04-22 |
求助人 |
轩辕乌 在
2021-05-10 10:43:13 发布,悬赏 10 积分
|
下载 | 该求助完结已超 24 小时,文件已从服务器自动删除,无法下载。 |
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|