Design and simulation of polymer piezo-electric MEMS microphone

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标题	Design and simulation of polymer piezo-electric MEMS microphone 聚合物压电MEMS传声器的设计与仿真相关领域多物理微电子机械系统话筒驻极体灵敏度（控制系统）声学压阻效应材料科学信号（编程语言）噪音（视频）电容电子工程电气工程工程类计算机科学光电子学声压有限元法物理图像（数学）结构工程电极量子力学人工智能复合材料程序设计语言
网址	https://doi.org/10.1109/ccube.2013.6718562
DOI	10.1109/ccube.2013.6718562 doi
其它	期刊：作者：Y. C. Muralidhar; K N Neethu; Veda Sandeep Nagaraja; S.L. Pinjare 出版日期：2013-12-01
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