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标题
Photomask etch system and process for 10nm technology node and beyond
网址
https://doi.org/10.1117/12.2199030
DOI
10.1117/12.2199030 doi
其它 期刊：Photomask Technology 2015
作者：Naoya Hayashi; Bryan S. Kasprowicz; Madhavi Chandrachood; Michael Grimbergen; Keven Yu; et al
出版日期：2015
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友好路人 在 2026-04-01 18:56:14 发布自上海，悬赏 20 积分
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