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标题
Fabrication of Three-Dimensional Microstructures on GaN Surfaces through the Integration of Femtosecond Laser Ablation and ICP Etching
飞秒激光烧蚀与ICP刻蚀集成在GaN表面制备三维微结构
相关领域
材料科学 飞秒 光学 制作 蚀刻（微加工） 氮化镓 激光器 光电子学 感应耦合等离子体 微观结构 等离子体 纳米技术 复合材料 医学 物理 替代医学 量子力学 病理 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1016/j.optcom.2024.130822
DOI
10.1016/j.optcom.2024.130822 doi
其它 期刊：Optics Communications
作者：Yan Ou; Peiling Kong; Jinwen Qian; Yifeng Xiao; Sheng Li; et al
出版日期：2024-06-26
求助人
儒雅凛 在 2024-11-25 15:08:14 发布自山西，悬赏 10 积分
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