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Optical modeling and investigation of thin films based on plasma-polymerized HMDSO under oxygen flow deposited by PECVD 相关领域
折射率
等离子体增强化学气相沉积
材料科学
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薄膜
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期刊:Journal of Materials Science: Materials in Electronics 作者:R. Amri; Zied Ben Hamed; D. Gamra; M. Lejeune; H. Bouchriha 出版日期:2023-06-01 |
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