Physiochemical etching characteristics and surface analysis of Y2O3-MgO nanocomposite under different CF4/Ar/O2 plasma atmospheres

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标题	Physiochemical etching characteristics and surface analysis of Y2O3-MgO nanocomposite under different CF4/Ar/O2 plasma atmospheres
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2023.158483
DOI	10.1016/j.apsusc.2023.158483 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Ho Jin Ma; Young-Jo Park; Mi-Ju Kim; Ha-Neul Kim; Jae-Woong Ko; et al 出版日期：2023
求助人	慕夏在 2026-03-18 19:03:12 发布自上海，悬赏 10 积分
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