发布文献求助
亲爱的研友该休息了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！身体可是革命的本钱，早点休息，好梦！
求助中
  • 文献求助详情
标题
Study on resist performance of inorganic-organic resist materials for EUV and EB lithography
EUV和EB光刻用无机-有机抗蚀剂材料抗蚀性能研究
相关领域
抵抗 极紫外光刻 平版印刷术 材料科学 纳米技术 光电子学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.35848/1347-4065/ad38c5
DOI
10.35848/1347-4065/ad38c5 doi
其它 期刊：Japanese Journal of Applied Physics
作者：Hiroki Yamamoto; Yuko Tsutsui Ito; Kazumasa Okamoto; Shuhei Shimoda; Takahiro Kozawa
出版日期：2024-03-28
求助人
czq 在 2025-07-22 14:12:02 发布自北京，悬赏 10 积分
下载 暂无链接，等待应助者上传
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Sub-5keV electron-beam lithography in hydrogen silsesquioxane resist
  2. EUV resists towards 11nm half-pitch
  3. PMMA resist profile and proximity effect dependence on the electron-beam lithography process paramet...
  4. Study and comparison of resist characteristics for different negative tone electron beam resists
  5. Lithographic performance of resist ma-N 1402 in an e-beam/i-line stepper intra-level mix and match a...
  6. Resists for fine-line lithography
  7. Comparative study of the sidewall shape and proximity effect of the AR-N 7520 negative electron beam...
  8. Process Research of Novel Electron Beam Lithography Resist Calixarene Used in Nanofabrication
  9. Contrast And Sensitivity Trade-Offs Of Resist Processing In Electron Beam Lithography At 0.5μM And ...
  10. Study of Proximity Effects in HSQ e-Beam Resist on TiO2 Thin Film
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 现在，等待您上传文献

  • 13小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    14:12:06 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    14:12:02 科研通AI机器人（北京）收到请求，开始寻找文献
    14:12:02 已向机器人发送请求

  • 13小时前

    czq czq Lv2 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
11秒前
胖哥发布了新的文献求助10
17秒前
蝶鞍完成签到，获得积分10
17秒前
lmk完成签到 ，获得积分10
1分钟前
clhoxvpze完成签到 ，获得积分10
1分钟前
水上汀州完成签到，获得积分10
2分钟前
水上汀州发布了新的文献求助10
2分钟前
2分钟前
2分钟前
yshj完成签到 ，获得积分10
2分钟前
3分钟前
4分钟前
科目三的应助被科研通管家采纳，获得10
4分钟前
科研通AI2S的应助被科研通管家采纳，获得10
4分钟前
5分钟前
Byron发布了新的文献求助10
5分钟前
冷静的小虾米完成签到 ，获得积分10
5分钟前
科研通AI2S的应助被科研通管家采纳，获得20
6分钟前
研友_892kOL完成签到 ，获得积分10
6分钟前
Byron完成签到，获得积分10
6分钟前
清脆的靖仇的应助被清脆元冬采纳，获得10
7分钟前
7分钟前
眭超阳完成签到 ，获得积分10
7分钟前
bzd完成签到 ，获得积分10
7分钟前
大模型的应助被胖哥采纳，获得10
7分钟前
7分钟前
8分钟前
追寻的怜容完成签到，获得积分10
8分钟前
文献完成签到 ，获得积分10
8分钟前
罗山哥发布了新的文献求助20
8分钟前
8分钟前
雪白傲薇完成签到，获得积分10
8分钟前
罗山哥完成签到，获得积分10
8分钟前
9分钟前
胖哥发布了新的文献求助10
9分钟前
英俊的铭的应助被挣钱抱男模采纳，获得10
9分钟前
10分钟前
謓言完成签到 ，获得积分20
10分钟前
隐形曼青的应助被胖哥采纳，获得10
10分钟前
cllk发布了新的文献求助10
10分钟前
高分求助中
【请各位用户详细阅读此贴后再求助】科研通的精品贴汇总(请勿应助) 10000
The Mother of All Tableaux: Order, Equivalence, and Geometry in the Large-scale Structure of Optimality Theory 3000
International Code of Nomenclature for algae, fungi, and plants (Madrid Code) (Regnum Vegetabile) 500
Maritime Applications of Prolonged Casualty Care: Drowning and Hypothermia on an Amphibious Warship 500
Comparison analysis of Apple face ID in iPad Pro 13” with first use of metasurfaces for diffraction vs. iPhone 16 Pro 500
Towards a $2B optical metasurfaces opportunity by 2029: a cornerstone for augmented reality, an incremental innovation for imaging （YINTR24441） 500
Materials for Green Hydrogen Production 2026-2036: Technologies, Players, Forecasts 500
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 4060956
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 3599511
关于积分的说明 11432192
捐赠科研通 3323516
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1827301
邀请新用户注册赠送积分活动 897914
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 818699
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通