标题 |
Layout pattern-driven design rule evaluation
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DOI |
10.1117/12.2046140
doi
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其它 |
期刊:Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability VIII 作者:John L. Sturtevant; Luigi Capodieci; Yasmine Badr; Ko-wei Ma; Puneet Gupta 出版日期:2014 |
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