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标题
[高分] Fabrication of piezoelectric PZT thin-film MEMS speaker
相关领域
微电子机械系统 制作 压电 材料科学 PMUT公司 薄膜 光电子学 声学 复合材料 纳米技术 医学 病理 替代医学
网址
DOI
10.1299/jsmemnm.2019.10.19pm5pn312 doi
求助人
北极星 在 2022-08-10 10:32:54 发布自湖北,悬赏 400 积分
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