Scalable CMOS back-end-of-line-compatible AlScN/two-dimensional channel ferroelectric field-effect transistors

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标题	Scalable CMOS back-end-of-line-compatible AlScN/two-dimensional channel ferroelectric field-effect transistors 相关领域材料科学可扩展性晶体管光电子学场效应晶体管 CMOS芯片铁电性非易失性存储器计算机科学纳米技术电气工程电压工程类电介质数据库
网址	https://doi.org/10.1038/s41565-023-01399-y
DOI	10.1038/s41565-023-01399-y doi
其它	期刊：Nature Nanotechnology 作者：Kwan-Ho Kim; Seyong Oh; Merrilyn Mercy Adzo Fiagbenu; Jeffrey Zheng; Pariasadat Musavigharavi; et al 出版日期：2023-05-22
求助人	xuezhong 在 2023-06-09 10:24:52 发布自美国，悬赏 10 积分
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