A comprehensive study on the structural evolution of HfO<sub>2</sub>thin films doped with various dopants
材料科学
掺杂剂
兴奋剂
薄膜
化学工程
工程物理
纳米技术
光电子学
工程类
作者
M. Park,Tony Schenk,Chris M. Fancher,Everett D. Grimley,Chuanzhen Zhou,Christian Richter,James M. LeBeau,Julian R. Jones,Thomas Mikolajick,Uwe Schroeder