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First Demonstration of 4-Layer Stacked Planar Channel-All-Around (P-CAA) IGZO FETs with Cost-Effective Process for High-Density 1T1C 3D DRAM

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作者
Xuezheng Ai,Weiwei Li,Chen Gu,Chuanke Chen,Xinlv Duan,Congyan Lu,Jianqi Chen,Xiangsheng Wang,Kaiping Zhang,Jin Dai,Mingxu Liu,Jiebin Niu,Chuanhui Huang,Jinjuan Xiang,Yong Yu,Feng Shao,Guanhua Yang,Yu Liu,Xiaomeng Liu,Shaohua Wang
标识
DOI：10.1109/iedm50854.2024.10873307
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