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A numerical study on effective arrangement of fan-filter units in a semiconductor cleanroom: Control of hazardous gas leakage from a process instrument

洁净室 危险废物 泄漏（经济） 工程类 有害物质 废物管理 材料科学 纳米技术 宏观经济学 经济
作者
Chengxi Yao,Seungjae Lee,Xiaojiang Wen,Jae-Won Lee,Seokchan Lee,Seulgi Choi,Dongbin Huh,Tae-Sung Kim
出处
期刊：Building and Environment [Elsevier BV]
日期：2024-11-23 卷期号：267: 112301-112301 被引量：2
标识
DOI：10.1016/j.buildenv.2024.112301
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