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Optimal Scheduling of Single-Armed Cluster Tools With Two Wafer Types and Chamber Cleaning
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作者
Fajun Yang,
Chao Li,
Chunjiang Zhang,
Naiqi Wu
出处
期刊：
IEEE transactions on systems, man, and cybernetics
[Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2025-06-03
卷期号：55 (8): 5607-5618
标识
DOI：10.1109/tsmc.2025.3571733
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