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Atomic Simulations of Deformation Mechanism of 3C-SiC Polishing Process with a Rolling Abrasive

材料科学 转速 磨料 旋转（数学） 抛光 横截面 绕固定轴旋转 复合材料 化学机械平面化 变形（气象学） 角速度 碳化硅 分子动力学 法向力 机械 几何学 经典力学 结构工程 物理 工程类 量子力学 数学
作者
Zhihua Yin,Pengzhe Zhu,Baozhen Li,Yimeng Xu,Rao Li
出处
期刊：Tribology Letters [Springer Science+Business Media]
日期：2021-10-07 卷期号：69 (4) 被引量：20
标识
DOI：10.1007/s11249-021-01526-7
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