Numerical simulation and analysis of hybrid physical-chemical vapor deposition to grow uniform perovskite MAPbI3

钙钛矿(结构) 沉积(地质) 材料科学 化学气相沉积 卤化物 薄膜 体积流量 原子层沉积 化学工程 热力学 化学 纳米技术 无机化学 结晶学 物理 沉积物 工程类 生物 古生物学
作者
Chongqiu Yang,Terrence W. Simon,Tianhong Cui
出处
期刊:Journal of Applied Physics [American Institute of Physics]
卷期号:121 (14) 被引量:7
标识
DOI:10.1063/1.4980116
摘要

Applications of metal halide perovskite have been rapidly developing in recent years. However, very little research focusing on basic growth kinetics of perovskite films can be found in the literature. This paper discusses a hybrid physical-chemical deposition process of planar perovskite films. A 2-D ANSYS Fluent simulation is presented to calculate the heat and mass transfer during the deposition process. An optimized mass flow configuration with a flow resistance imposed by a porous screen is shown to give a uniform distribution of the methylammonium iodide vapor precursor and an even surface deposition rate of perovskite films. Both steady and transient calculations indicate that increasing operating temperature or vessel pressure within certain limits can boost the surface deposition rate of perovskite. Limitations on working pressure are presented for preventing reverse flow into the chamber and associated deterioration of deposition uniformity of the perovskite films.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
月月发布了新的文献求助10
刚刚
桐桐应助cl采纳,获得10
刚刚
天天快乐应助1111采纳,获得10
刚刚
chv完成签到,获得积分10
1秒前
Chris完成签到,获得积分10
1秒前
LRX发布了新的文献求助10
1秒前
科目三应助耍酷的幻嫣采纳,获得10
1秒前
nanjiluotuo11发布了新的文献求助10
1秒前
2秒前
nature发布了新的文献求助10
2秒前
桐桐应助小芒果采纳,获得10
3秒前
杨敏完成签到,获得积分20
3秒前
丿百事不力口冰完成签到,获得积分10
3秒前
3秒前
5秒前
排骨炖豆角完成签到,获得积分10
5秒前
wjx关闭了wjx文献求助
5秒前
机械腾完成签到,获得积分10
6秒前
小李爱学习应助Arayluk采纳,获得10
6秒前
gaowei完成签到 ,获得积分10
6秒前
6秒前
上官若男应助优美薯片采纳,获得10
7秒前
change完成签到,获得积分10
7秒前
gjx发布了新的文献求助10
7秒前
7秒前
hongjing完成签到,获得积分10
7秒前
优秀的大白菜完成签到,获得积分10
7秒前
顾矜应助langwang采纳,获得10
8秒前
wayhome发布了新的文献求助10
8秒前
9秒前
yueer完成签到,获得积分10
9秒前
9秒前
pirateharbor完成签到,获得积分10
9秒前
9秒前
10秒前
二弟的皮完成签到,获得积分10
10秒前
lh发布了新的文献求助10
10秒前
10秒前
yyq应助jfaioe采纳,获得10
10秒前
11秒前
高分求助中
Adhesion Science: Principles & Practice 1234
Cold War Transcended: Australia's China Policy, 1949-1990 998
Signals, Systems, and Signal Processing 610
Fundamentals of Pharmaceutical and Biologics Regulations: A Global Perspective, Second Edition 600
Testimonial Injustice and Trust 510
Burger's Medicinal Chemistry and Drug Discovery 400
Fundamentals of Body MRI 3rd Edition 400
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 物理 内科学 复合材料 催化作用 物理化学 光电子学 电极 细胞生物学 基因 无机化学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 6642073
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 8399031
关于积分的说明 17960261
捐赠科研通 5830832
什么是DOI,文献DOI怎么找? 2968442
邀请新用户注册赠送积分活动 1943391
关于科研通互助平台的介绍 1860056