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Simultaneous Enhancement of Sensitivity, Resonant Frequency, and Overload Capability of Piezoresistive Accelerometers by Heavily-Doped Fillet Structures on Sensing Beams

压阻效应 加速度计 材料科学 灵敏度（控制系统） 兴奋剂 光电子学 圆角（机械） 电气工程 电子工程 声学 工程类 物理 复合材料 量子力学
作者
Yong Xia,Tao Wang,Yang Lv,Xiangguang Han,Mingzhi Yu,R.J. Tan,Mimi Huang,Jia Chen,Libo Zhao,Tian Wei,Ping Yang,Dejiang Lu
出处
期刊：IEEE Sensors Journal [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2025-04-08 卷期号：25 (11): 19138-19146
标识
DOI：10.1109/jsen.2025.3557123
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