Synthesis of tantalum oxide thin films using RF magnetron sputtering for RRAM application

溅射沉积 材料科学 电阻随机存取存储器 薄膜 腔磁控管 光电子学 溅射 氧化物 纳米技术 冶金 化学 电极 物理化学
作者
Disha Yadav,R. Sai Prasad Goud,S. Venugopal Rao,Jaspreet Singh,Amit Krishna Dwivedi,Devesh Kumar Avasthi
出处
期刊:Radiation Effects and Defects in Solids [Taylor & Francis]
卷期号:179 (7-8): 974-984 被引量:5
标识
DOI:10.1080/10420150.2024.2378422
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