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IR and Raman absorption spectroscopic studies of APCVD, LPCVD and PECVD thin SiN films

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作者

G. Beshkov,Lei Shi,V Lazarova,N. Nedev,S. Georgiev

出处

期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2002-12-01 卷期号：69 (1-3): 301-305 被引量：49

标识

DOI：10.1016/s0042-207x(02)00349-4

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