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Highly localized surface oxide thickening on polycrystalline silicon thin films during cyclic loading in humid environments

材料科学 硅 透射电子显微镜 微晶 纳米 降级（电信） 多晶硅 氧化物 复合材料 循环应力 相对湿度 压力（语言学） 图层（电子） 冶金 纳米技术 薄膜晶体管 电信 语言学 哲学 物理 计算机科学 热力学
作者
Michael Budnitzki,Olivier N. Pierron
出处
期刊：Acta Materialia [Elsevier BV]
日期：2009-03-31 卷期号：57 (10): 2944-2955 被引量：33
标识
DOI：10.1016/j.actamat.2009.03.004
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