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Synthesis and characterization of a novel zinc precursor for atomic layer deposition of ZnO thin films

原子层沉积 锌 表征（材料科学） 薄膜 图层（电子） 沉积（地质） 材料科学 原子层外延 纳米技术 逐层 化学工程 化学 无机化学 冶金 古生物学 沉积物 工程类 生物
作者
Ji Min Seo,Heeseon Kim,Yongmin Go,Seung Uk Son,Ji Yeon Ryu,Taek‐Mo Chung,Bo Keun Park
出处
期刊：Molecular Crystals and Liquid Crystals [Taylor & Francis]
日期：2025-03-24 卷期号：769 (5): 556-563
标识
DOI：10.1080/15421406.2025.2494302
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