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作者
Baligh Touati,
Abdelaziz Gassoumi,
Cathy Guasch,
Najoua Kamoun‐Turki
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期：2017-05-13
卷期号：67: 20-27
被引量：37
链接
hal.science
doi.org
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2017.05.004
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