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Deposition of amorphous carbon nitride thin films using pressure-gradient RF magnetron sputtering and their chemical bonding structures

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作者
Masami Aono,Masami Terauchi,Yohei Sato,Kyoji Morita,T. Inoue,Kazuhiro Kanda,Ken Yonezawa
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2023-06-05 卷期号：635: 157677-157677 被引量：7
链接
sciencedirect.comdoi.org
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2023.157677
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