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标题
Plasma etching of ZnS, ZnSe, CdS, and CdTe in electron cyclotron resonance CH4/H2/Ar and H2/Ar discharges
电子回旋共振CH4/H2/Ar和H2/Ar放电中ZnS、ZnSe、CdS和CdTe的等离子体刻蚀
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网址
https://doi.org/10.1116/1.586718
DOI
10.1116/1.586718 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science & technology
作者：S. J. Pearton
出版日期：1993-01-01
求助人
Naruto 在 2024-05-16 08:38:39 发布自日本，悬赏 10 积分
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