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Preparation and properties of heteroepitaxial β-Ga2O3 films on KTaO3 (100) substrates by MOCVD
KTaO3(100)衬底上异质外延β-Ga2O3薄膜的MOCVD制备及性能研究
相关领域
材料科学
金属有机气相外延
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薄膜
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期刊:Materials characterization 作者:Di Wang; Liqun He; Xiaochen Ma; Hongdi Xiao; Yong Le; et al 出版日期:2020-07-01 |
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